本文源自:金融界
金融界2024年10月26日消息，国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司申请一项名为“一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法及系统”的专利，公开号 CN 118814143 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法及系统，方法包括步骤：淀积开始后，判断是否有电弧产生；当采集一个Ton里,有电弧的产生且Tarc/Ton≤a％时，在Blinkon周期的最后补偿上因灭弧损失的舟波数；当采集到一个T 里a％a。本发有具有原理简单、操作简便、自动化程度高、检测精度高、处理效果好等优点。
